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    日立HITACHI掃描電鏡

    簡要描述:日立HITACHI掃描電鏡
    SU8600
    高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列
    *設備照片包含選配項。

    • 產(chǎn)品型號:SU8600
    • 廠商性質:經(jīng)銷商
    • 更新時間:2023-12-07
    • 訪  問  量:1723
    詳細介紹
    品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
    價格區(qū)間面議儀器種類冷場發(fā)射
    應用領域能源,電子,航天,汽車,綜合

    日立HITACHI掃描電鏡

    SU8600

    高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU8600系列

    *設備照片包含選配項。

     

    SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術,同時還提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

     

    特點

    *高分辨成像

    日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下,也可獲得高分辨的圖像。

    高襯度的低加速電壓背散射圖像

    3D NAND截面觀察;

    在低加速電壓條件下,背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。

    快速BSE圖像:新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

    由于使用了新型的OCD探測器,即使掃描時間不到1秒,也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.

    自動化功能*

    EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設置放大倍率、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調試和確認后,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

    靈活的用戶界面

    原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。

     

    日立HITACHI掃描電鏡 

    技術參數(shù)

    機型

    SU8600 系列

    電子光學系統(tǒng)

    二次電子像分辨率

    0.6 nm@15 kV

    0.7 nm@1 kV *

    放大倍率

    20 to 2,000,000 x

    電子槍

    冷場發(fā)射電子源,支持柔性閃爍功能,包含陽極烘烤系統(tǒng)。

    加速電壓

    0.5 to 30 kV

    著陸電壓 *

    0.01 to 20 kV

    探測器

    (部分為選配項)

    上探測器(UD)

    UD ExB能量過濾器,包含SE/BSE信號混合功能

    下探測器(LD)

    頂探測器(TD)

    TD能量過濾器

    鏡筒內背散射電子探測器(IMD)

    半導體式背散射電子探測器 (PD-BSED)

    新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)

    陰極熒光探測器(CLD)

    掃描透射探測器(STEM Detector)

    附件

    (部分為選配項)

    導航相機、樣品室相機、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)

    軟件

    (部分為選配項)

    EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素以下)

    樣品臺

    馬達驅動軸

    5軸馬達驅動(X/Y/R/Z/T

    馬達驅動軸

    X0~110 mm

    Y0~110 mm

    Z1.5~40 mm

    T-5~70°

    R360°

    樣品室

    樣品尺寸

    直徑可達:150 mm

    *減速模式下


     


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